设备简介

MTC系列陶瓷金属化镀模机采用磁控溅射镀、离子镀等多种镀膜技术，膜层种类多，热应力匹配好，具有3D异型工件膜层均匀性好、膜基结合力好、产品适应性强等优点，广泛用于电阻、电感、电容等基础电子元器件的制造，也用于5G通讯领域的陶瓷滤波器的制造，在传感器MEMS的封装制程也有大量的应用。

设备特点

• 高能量等离子体清洗，提高涂层结合力
• 磁控溅射靶材利用率高
• 工艺程序高度重复运行
• 稳定的控制系统，使操作更轻松
• 远程智能操控和诊断功能