设备简介

DLC增强型类金刚石涂层设备是我公司自主研发生产的另一款类金刚石镀膜设备，这款设备可选配阴极电弧、增强弯管磁过滤电弧、磁控溅射、离子源、灯丝等等离子体技术于一台设备上，结合智能挡板和可移动式工件转架，既能制备DLC（a-C:H）涂层,又可以制备ta-C涂层。广泛应用于航空航天、汽车工业、切削刀具、模具及有低摩擦系数要求的零部件。

设备特点

• 高能量等离子体清洗、刻蚀，提高涂层结合力    
• 电磁场交互作用提高离化率
• 增强弯管磁过滤电弧，通过弯管磁场可以很好地过滤电弧产生的液滴，膜层表面更细腻
• 磁控溅射靶材利用率高
• 既可制备含氢DLC涂层，又可制备ta-C涂层
• 工艺程序高度重复运行
• 稳定的控制系统，使操作更轻松
• 远程智能操控和诊断功能

设备参数

涂层参数